一种MEMS水声传感器芯片及系统

本发明公开了一种MEMS水声传感器芯片及系统，属于水声信号探测技术领域。本发明针对在静水中水听器测量较为准确，但在洋流中由于水流噪声、水流运动和传感器振动等因素的干扰，水听器测量精度下降，无法在复杂海洋环境中定位声源和描述声场的问题，提出将压电水听器和压电加速度计集成为MEMS水声传感器芯片，并将MEMS水声传感器芯片的输出信号通过适配的信号调理电路进行调理，从而获取声压和粒子运动信息，定位声源和描述声场。本发明的MEMS水声传感器系统即使在洋流中或者当传感器振动时测量结果依然准确，具有抗流和抗振的效果，在探测水声信号领域具有广阔的应用前景。