一种基于图像识别的半导体加工的清洗设备控制系统及方法

本发明公开了一种基于图像识别的半导体加工的清洗设备控制系统，包括清洗模块、图像采集模块以及控制模块；清洗模块，用于分步清洗圆晶，先控制喷枪喷液清洗圆晶表面，然后通过气枪吹干圆晶外表面，再清洗圆晶内表面；图像采集模块，用于采集圆晶外表面图像，在清洗前，通过拍摄设备先采集一次圆晶外表面图像，然后进行圆晶清洗处理，在圆晶吹干外表面后，再对圆晶进行X光的拍摄，对圆晶内部进行清洗；控制模块，用于调节清洗设备的控制参数；本发明利用图像识别技术解决了现有技术中圆晶清洗设备不能在清洗过程中获取晶圆表面的清洁状态的问题，且能识别圆晶内外部污染状况，针对性调整清洗参数与路径，避免过度清洗或清洗不足，显著提升清洗质量。