摘要
本发明涉及光电技术领域,公开了一种Micro LED模组及其制备方法,包括以下步骤:提供支撑衬底,所述支撑衬底上设有若干组芯片;在所述支撑衬底上制备平坦层,所述平坦层填充在所述芯片的周围,在垂直方向上,所述平坦层的顶面与所述电极的顶面相平齐;在所述阴极和阳极上分别制备阴极扇出电极和阳极扇出电极;在所述平坦层上制备隔离层,所述隔离层填充所述间隔区域,所述隔离层的厚度大于所述阴极扇出电极或所述阳极扇出电极的厚度;在所述阴极扇出电极和阳极扇出电极上分别制备阴极层和阳极层,所述阴极层或所述阳极层的顶面不低于所述隔离层的顶面。本发明提供的Micro LED模组的制备方法能够实现微型芯片的电极扇出和布线,工艺简单。
技术关键词
阴极
电极
模组
光敏材料
平坦层
衬底
阳极层
微型芯片
环氧树脂
载板
光刻胶
蓝色
红色
布线
光电
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