离子注入机台的参数调整方法

本申请公开了一种离子注入机台的参数调整方法，包括：获取离子束的多个第一参数；获取历史数据并筛选与多个所述第一参数接近的至少一组历史数据，每组历史数据中至少包括多个第一参数；将多个所述第一参数和所述历史数据输入到混合深度神经网络模型中，并获得预测的输出变量；根据预测的输出变量对所述离子注入机台的第三参数进行调整。本申请提供的离子注入机台的参数调整方法，采用混合深度神经网络模型对机台的第三参数进行调整，不仅可以实现自动化的离子束参数调整，减少了人工的参与率，同时对于长时间工作的机台，可以提高机台的工作效率和工作准确性。