基于激光干涉技术的角度尺寸联动检测方法

本发明涉及基于激光干涉技术的角度尺寸联动检测方法，三维空间形变的激光干涉原理建模：通过激光干涉技术测量物体表面的微小形变；基于空间几何分析设计三维形变模型，综合设备预测出现的多种形变方式，并建立与激光干涉数据之间的数学关系；通过多光束反射、干涉条纹的位移以及形变分布情况的结合，得出三维空间中的形变向量；布设多个激光干涉传感器，覆盖待测物体的区域；利用三维空间拼接算法，将多个传感器测得的局部数据通过坐标转换与配准技术合成的三维形变模型；安装形变监测系统，将实时数据输入到实时补偿控制系；将补偿结果实时传递给控制系统，控制形变的补偿；自适应干涉条纹优化与动态误差修正。