温度控制方法、电子设备、介质及程序产品

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温度控制方法、电子设备、介质及程序产品
申请号:CN202510030651
申请日期:2025-01-08
公开号:CN119685920A
公开日期:2025-03-25
类型:发明专利
摘要
本申请属于半导体技术领域,具体涉及一种温度控制方法、电子设备、介质及程序产品。通过在单晶硅制备过程中,确定当前所处的制备阶段,其中,单晶硅制备过程按时间顺序包括如下制备阶段:预热阶段、熔料阶段、拉制阶段和冷却阶段,确定与当前所处的制备阶段对应的温度控制算法和目标温度,在当前所处的制备阶段,按照目标温度采用温度控制算法对坩埚温度进行控制;该方法在单晶硅制备过程中,通过识别当前制备阶段并应用相应的温度控制算法和目标温度来调控坩埚温度,延长了坩埚的使用寿命。
技术关键词
温度控制算法 阶段 模型预测控制算法 计算机执行指令 温度控制方法 单晶硅 模糊控制算法 坩埚 功率控制 模糊规则 加热 温度控制设备 温度控制装置 误差 可读存储介质 电子设备 处理器通信 模块
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