一种多芯片并联功率模块动态均流布局设计方法及系统

本发明属于功率半导体器件领域，公开了一种多芯片并联功率模块动态均流布局设计方法及系统，该方法包括主功率回路布局布线和驱动回路布局布线两个方面。主功率回路垂直换流设计，且并联芯片源极、漏极一体化设计，可使芯片准共源极电感一致且一体化，有助于氮化镓多芯片并联动态均流；驱动回路布线垂直换流并且与主功率回路垂直设计，功率回路对驱动回路的互感基本为0，有利于氮化镓芯片并联动态均流；当满足以上设计的同时四颗芯片栅极引出端、开尔文源极引出端关于主功率回路对称轴对称时，主功率回路对驱动至每颗芯片栅极布线的部分互感相等，且主功率回路对每颗芯片开尔文源极至驱动地布线互感也相等，可以实现优异的氮化镓多芯片并联动态均流效果。