一种多单晶炉冷却水循环系统控制方法

本发明提供一种多单晶炉冷却水循环系统控制方法，包括：建立晶体生长速度和冷却水系统能耗的多目标函数；基于非支配排序遗传算法对多目标函数进行求解，得到目标炉内温度和目标冷却水流速；采用模糊控制理论建立温度和流速调节的模糊控制器，通过模糊控制器输出温度调节系数和流速调节系数；风机根据温度调节系数对冷却器进行温度控制，电机根据流速调节系数对泵进行流速控制。本发明能够降低冷却水循环系统的能耗，提升控制精度。