X射线成像检测模块及其制造方法

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X射线成像检测模块及其制造方法
申请号:CN202510039106
申请日期:2025-01-10
公开号:CN119486295B
公开日期:2025-05-06
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种X射线成像检测模块及其制造方法。该X射线成像检测模块包括:电路板;传感材料层,用于将穿透被检目标的X射线转换为电信号;第一电路,用于处理传感材料提供的电信号;以及第二电路,形成于电路板上,用于向传感材料层和第一电路供电和进行信号处理,其中,X射线成像检测模块还包括互联层,互联层分别与传感材料层和第一电路电连接并提供连接第二电路的电极。该X射线成像检测模块将高密度的传感材料层和第一电路设置在互联层上,将低密度的第二电路设置在电路板上,使得器件的结构简洁、制造工艺简单、成本低、性能好。
技术关键词
X射线成像 电极 电路板 传感 半导体衬底 集成电路芯片 焊盘 模块 互联线 像素单元 电信号 镀层 信号处理 密度 离子 导电胶 单层
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