摘要
本申请公开了一种X射线成像检测模块及其制造方法。该X射线成像检测模块包括:电路板;传感材料层,用于将穿透被检目标的X射线转换为电信号;第一电路,用于处理传感材料提供的电信号;以及第二电路,形成于电路板上,用于向传感材料层和第一电路供电和进行信号处理,其中,X射线成像检测模块还包括互联层,互联层分别与传感材料层和第一电路电连接并提供连接第二电路的电极。该X射线成像检测模块将高密度的传感材料层和第一电路设置在互联层上,将低密度的第二电路设置在电路板上,使得器件的结构简洁、制造工艺简单、成本低、性能好。
技术关键词
X射线成像
电极
电路板
传感
半导体衬底
集成电路芯片
焊盘
模块
互联线
像素单元
电信号
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