一种硅基谐振式压力传感器的结构优化设计方法

本发明公开了一种硅基谐振式压力传感器的结构优化设计方法，通过获取移除第i,i＝1…I个方形单元后，初始的器件层中的方形单元的最大应力变化量Δσ和最大形变的变化量Δγ，进而根据初始的器件层中所有的方形单元中的最大应力σ0和最大形变γ0，获取第i个方形单元的演化参量C；基于此方法对器件层进行三次演化，获得第三次结构演化后的器件层后，确定谐振结构的位置和基本形状，以确定的最终的谐振式压力传感器的器件层，完成对谐振式压力传感器的设计。本发明对器件层的三次演化，能够解决随着灵敏度的提高，传感器在较大压力范围内的线性度可能会出现下降，导致频率响应的非线性变化的问题，具有灵敏度高而非线性误差低的特点，测量的准确性高。