一种集成电路标准单元时序弧脉冲延时测量系统

本发明公开一种集成电路标准单元时序弧脉冲延时测量系统，包括：片上时钟产生模块，用于芯片片上产生高频时钟作为基准计数时钟；片上标准单元时序弧生成电路，通过相同时序弧的多级级联的电路结构，实现时序弧的脉冲展宽，通过多级相同时序弧延时的叠加测量单一时序弧延时；片上时序弧计数电路，利用片上高频时钟作为基准时钟，对展宽的时序弧脉冲进行计数；片上输入输出模块，控制多种集成电路标准单元类型的选取，时序弧的选取，控制计数器输出；晶圆电路测试机台，使用晶圆电路测试探针进行晶圆级电气连接，给集成电路标准单元供电和信号输入和输出。本发明实现了集成电路标准单元时序弧测量和标准单元库所有的标准单元的所有时序弧的测量。