一种用于PVD设备的脱气腔

本发明公开了一种用于PVD设备的脱气腔，包括PVD腔体，PVD腔体内设置有加热器，一侧设置有第一冷却罩，另一侧设置有第二冷却罩；加热器上设置有第一顶针，以及外侧设置有第二顶针；第一冷却罩侧面设置有第一转轴，第一转轴上设置有第一冷却结构，第一转轴用于将第一冷却结构旋转至第一冷却罩内或者加热器上方，第一冷却结构上设置有用于第一顶针通过的第一开口结构；第二冷却罩侧面设置有第二转轴，第二转轴上设置有一机械臂，机械臂活动连接有第二冷却结构，第二转轴通过机械臂将第二冷却结构旋转至第二冷却罩内或者加热器上方，本发明利用晶圆待在脱气腔的时间，对晶圆降温，减少后续冷却时间，提升机台产能。