一种MEMS气体流量芯片

本申请属于流量传感器技术领域，具体涉及一种MEMS气体流量芯片；该芯片包括开关单元和流量单元，开关单元包括第一热电堆测温器和第一直线加热器；流量单元包括第二直线加热器、第二热电堆测温器和第三热电堆测温器；设置于不同位置的第一热电堆测温器、第二热电堆测温器和第三热电堆测温器分别测量第一直线加热器和第二直线加热器加热后的气体温度，并分别获得第一气体温度、第二气体温度和第三气体温度；该芯片能够测量得到不同位置的气体温度为MEMS流量计的高精度气体流量计算提供数据；该芯片将开关单元和流量单元集成设置，体积小集成度高，易于封装。