一种半导体器件清洗路径规划预警方法和系统

本发明公开了一种半导体器件清洗路径规划预警方法和系统，属于计算机数据信息处理技术领域；该方法包括获取待清洗半导体器件表面参数数据，归一化处理后生成综合特征向量，并构建三维表面模型；对表面区域进行分割，并生成n个清洗单元；n为清洗单元数量，n为自然数；采用路径规划算法生成清洗路径；启动清洗并实时监测半导体器件表面参数，动态调整清洗参数和清洗路径；利用清洗后表面信息与目标特征值的匹配结果，识别未清洗区域，并优化清洗路径至清洗完成；本发明能够实现半导体器件激光清洗过程的实时预警，确保清洗过程中与目标特征值保持一致，而且能够灵活处理复杂表面，避免重复清洗与能量浪费，提升整体效率。