一种基于微流控和介电泳的Micro LED流体组装方法

本申请公开了一种基于微流控和介电泳的Mi cro LED流体组装方法，包括如下步骤：S 1：将Mi cro LED芯片制作成Mi cro LED芯片水凝胶微球；S2：Mi cro LED芯片水凝胶微球悬浮放置在液体中；S3：将性能符合要求的Mi cro LED芯片水凝胶微球分选出来；S4：Mi cro LED芯片水凝胶微球均匀分布到目标基板上，再利用介电泳陷阱进行组装；S5：目标基板上制备好的介电泳陷阱陆续捕获Mi cro LED芯片水凝胶微球，形成大规模的有序阵列；S6：释放Mi cro LED芯片水凝胶微球包裹着的Mi cro LED芯片，即为相应的Mi cro LED芯片阵列；本申请实现对Mi cro LED水凝胶微球的精准定位和控制，完成Mi cro LED芯片的高精度转移，提高了Mi cro LED的转移效率和定位精度，简化了Mi cro LED转移工艺，降低了生产成本，具有广泛的市场应用前景。