二维可寻址VCSEL阵列及其制备方法、VCSEL芯片和激光雷达

本申请涉及一种二维可寻址VCSEL阵列及其制备方法、VCSEL芯片和激光雷达。所述二维可寻址VCSEL阵列包括若干VCSEL发光点、若干金属互连层和若干电气接入部；部分金属互连层沿第一方向间隔排列，沿第二方向延伸，其余金属互连层沿第二方向间隔排列，沿第一方向延伸，所述第一方向和所述第二方向垂直；各所述金属互连层的一端分别连接一所述电气接入部，另一端对应连接一行或一列所述VCSEL发光点的正极或负极；其中，一电气隔离区域至少形成于相邻所述电气接入部之间的漏电路径上。