摘要
本发明公开了一种SFQ器件倒装结构、量子芯片以及量子计算机,包括倒装层,多个第一倒装压焊点形成于倒装层上,多个约瑟夫森结形成于倒装层内,还包括有基底层,多个第二倒装压焊点形成于基底层上。其中,基底层的结构与倒装层的结构相适配,基底层用于布线以及放置直流功率层,减少直流功率层对于约瑟夫森结的性能影响。量子芯片中包括上述SFQ器件倒装结构。量子计算机中包括上述的SFQ器件倒装结构。本发明中基底层与倒装层为模块化设计,可同时单独进行制作,有效提升了制备的效率,通过将约瑟夫森结设置于基底层中,可有效降低基底层中的直流功率层对于约瑟夫结的性能影响。
技术关键词
倒装结构
基底层
量子计算机
量子芯片
约瑟夫森结
硅衬底
二氧化硅
功率
电阻
平坦层
铟柱
布线
传输线
平地
层级
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