一种基于瞬态电压法的微秒级器件损伤定位系统

本发明公开了一种基于瞬态电压法的微秒级器件损伤定位系统，首先搭建陷阱表征测试平台，其中包括PPC端、FPGA主控、漏极与栅极的驱动电路、截取放大电路和采集卡；然后将待测器件三端接入漏极与栅极的驱动电路中；通过FPGA主控下发时序信息完成硬件电路的陷阱填充和测试阶段的状态切换；最后由采集卡收集经过截取电路去噪并放大后的器件漏源两端的瞬态电压传入PC端。本发明可以获取微秒级时间精度的瞬态电压响应曲线，其开关速度小于1微秒，曲线中包含的陷阱信息更为丰富，且使用该平台获取了新的微秒级别的陷阱，由此可更为精确地分析待测器件的损伤位置与原因。