摘要
本发明涉及一种同轴三光束激光粒度仪及其测量方法,包括三波长激光转换模块、透镜、样品池以及光电探测器,其中三波长激光转换模块,可以先后同轴输出三种波长的激光,平行激光经透镜汇聚照射到样品池,其中样品池与垂直方向成一定夹角放置,分别在样品池前向、侧向和透镜后向设置光电探测器同时接收样品的散射光。本发明可以采集三种不同波长的同轴激光经样品池的散射光信号,可以同时兼顾小颗粒和大颗粒的检测需求,使粒度检测范围的下限更小、上限更大,避免颗粒的检测遗漏,提高激光粒度仪的测量精度,同时提高复杂样品适应性。
技术关键词
激光器
分光棱镜
波长
激光粒度仪
光强
合色棱镜
散射光
样品池
直线平台
透镜
光束
测量方法
光电探测器
镀膜
镜片
反演算法
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缺陷自动识别
决策树模型
功率
超声频率
智能路径规划
马赫曾德尔干涉仪
扩展卡尔曼滤波
干涉仪模块
FPGA系统
卡尔曼滤波算法
一体化检测系统
一体化检测方法
数据分析模块
检测器
离轴抛物面镜
激光切割机
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激光器模块
温升