一种芯片化法拉第主动光钟及其实现方法

本发明公开了一种芯片化法拉第主动光钟及其实现方法。本发明包括半导体激光二极管、基底晶圆、盖板晶圆，基底晶圆上设有空腔晶圆，空腔晶圆内设有第一偏振分光棱镜、第二偏振分光棱镜、MEMS碱金属原子气室、主动光钟谐振腔腔镜，空腔晶圆与盖板晶圆连接构成一密闭腔体；半导体激光二极管输出宽谱荧光信号经基底晶圆透射输入到第一偏振分光棱镜分为两束，一束进入原子气室进行频率锁定；第二偏振分光棱镜将原子气室输出的激光分为两束，一束作为芯片化法拉第主动光钟激光输出，另一束入射到主动光钟谐振腔腔镜；主动光钟谐振腔腔镜将入射激光中的一部分激光反射回二极管，实现激光持续振荡；其中芯片化法拉第主动光钟工作在坏腔区域。