一种基于结构光照明数字散斑干涉的形变测量装置和方法

本发明公开了一种基于结构光照明数字散斑干涉的形变测量装置和方法，该装置包括结构光产生及相移单元、成像单元，其中，结构光产生及相移单元包括激光器、设置在激光器的光路上的空间光调制器和空间掩膜板，激光器用于产生激光，空间光调制器用于加载条纹调制图案以形成沿不同方向传播的多束衍射光并实现相移操作，空间掩膜板用于仅选择0级和+1级衍射光束进行干涉以产生结构照明光；成像单元用于记录样品的数字散斑图像。本发明通过在空间光调制器上加载条纹调制图案，结合空间掩膜板选择0级和+1级衍射光束进行干涉来产生快速结构光照明和相移，具有成像速度快的优点，同时相移重复精度高，保证了重构结果的准确性。