摘要
本发明的搬送装置及晶片收纳容器清洗装置能效率良好地进行处理。搬送装置包括搬送机器人,所述搬送机器人将晶片收纳容器的壳搬送至具有定位构件的载置台,所述搬送装置中,搬送机器人包括对壳进行把持的把持部,把持部具有:一对壳把持爪,对壳的凸缘进行把持;以及支撑构件,能够与壳中的和凸缘不同的部位接触,壳的载置对象面是与设置有凸缘的面交叉的面,支撑构件设置成以如下方式对壳进行支撑:在由壳把持爪把持凸缘而壳的载置对象面朝向下方的状态下,使得壳成为载置在载置台的载置面之前的壳的载置对象面能够经由定位构件载置在载置台的载置面的姿势,搬送机器人在由壳把持爪把持凸缘、且由支撑构件支撑有壳的状态下将壳搬送至载置台。
技术关键词
搬送机器人
收纳容器
搬送装置
定位构件
支撑构件支撑
凸缘
对象
载置台
姿势
清洗槽
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