一种激光干涉终点检测的自动对准方法

本发明公开了一种激光干涉终点检测的自动对准方法，包括以下步骤：将晶圆表面照亮，将激光光束照射至晶圆表面；接收所述晶圆表面被照亮区域形成的输出图像S1，所述输出图像S1包含晶圆上目标图案形成的目标图像Sg及晶圆反射的激光光斑图像L；计算所述输出图像S1中目标图像Sg的几何中心坐标和所述激光光斑图像L的质心坐标，得到两坐标对应的像素距离；根据像素距离，控制所述激光光束向晶圆表面的所述目标图案方向进行移动，使得所述激光光斑图像的质心与所述输出图像S1上的目标图像Sg的几何中心重合，从而实现自动对准。本发明可以实现激光干涉终点检测过程中的激光光束与目标图案的自动对准，提升了刻蚀终点检测效率。