摘要
本发明涉及光电技术领域,公开了一种Mini LED芯片及其制备方法,包括:提供Mini LED芯片晶圆,所述Mini LED芯片晶圆包括衬底,所述衬底上依次设有芯片层,所述芯片层的表面设有焊盘,所述焊盘包括磁吸层;将所述Mini LED芯片晶圆通过磁性盘固定在研磨机上,并对所述Mini LED芯片晶圆的衬底进行减薄,得到第一晶圆;将临时基板与所述第一晶圆的衬底贴合在一起,分离所述磁性盘与所述第一晶圆,得到第二晶圆;对所述第二晶圆进行切割,得到单颗Mini LED芯片。本发明提供的Mini LED芯片的制备方法能够实现晶圆厚度低,且良品率高。
技术关键词
晶圆
芯片
衬底
磁吸层
研磨机
焊盘
阻挡层
接触层
包覆层
透明基板
光电
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