用于确定表面图的方法和用于确定表面图的成像系统

本发明涉及一种用于确定样品表面的表面图（诸如高度图）的方法，所述样品表面具有第一区域和第二区域，第一区域具有第一反射率，第二区域具有第二反射率。本发明还涉及一种用于确定样品表面的表面图的成像系统，所述样品表面具有第一区域和第二区域，第一区域具有第一反射率，第二区域具有第二反射率。本发明还涉及一种数字数据载体，其包括计算机程序，所述计算机程序当在根据本发明的成像系统的处理器上运行时，使得所述成像系统执行根据本发明的方法。