一种基于发射光谱的等离子体特性三维诊断设备和方法

一种基于发射光谱的等离子体特性三维诊断设备和方法，包括：光谱仪，用于在等离子体周围的多个预定位置分别进行扫描，获取所述等离子体的三维发射光谱；处理器，用于根据所述等离子体的碰撞‑辐射模型和所述三维发射光谱，获得所述等离子体的三维温度分布和三维浓度分布；能够在等离子周围的多个点进行原位逐点扫描，获得等离子体的三维发射光谱，设备简单，仅需一台光谱仪，就能获得等离子体丰富的发射光谱信息，进而结合等离子体的辐射‑碰撞模型获得等离子体的温度和浓度三维分布，实现了等离子体的三维原位定量检测。