对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质

本申请公开了一种对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质，涉及晶圆测试技术领域。方法包括：当待测晶圆中单个待测的第一晶粒的第一待测容量大于预设容量阈值，获取当前的第一传参文件；第一传参文件包括：第一算法选择信息和预设差值；根据第一待测容量与预设容量阈值之间的第一容量差值、预设差值，对第一算法选择信息进行更新得到第二算法选择信息和更新的第二传参文件；根据第二算法选择信息从多个不同的候选Pattern测试算法中确定并启动一个目标Pattern测试算法；根据第二传参文件和目标Pattern测试算法，分区域对第一晶粒进行Pattern测试，完成单晶粒测试。能提高单晶粒测试效率。