SCARA机器人精度检测装置及精度检测补偿方法

本发明公开了一种SCARA机器人精度检测装置及精度检测补偿方法，SCARA机器人精度检测装置包括：水平平移机构，包括水平且相互垂直的X轴平移组件、Y轴平移组件；纵向释放机构，位于水平平移机构上，纵向释放机构具备轴套组合结构，轴套组合结构能够与SCARA机器人的机器人末端轴活动装配，机器人末端轴在轴套组合结构中具备沿Z轴直线升降和绕Z轴旋转的机械自由度；光栅测量机构，包括与X轴平移组件、Y轴平移组件分别平行布置的X轴光栅组件、Y轴光栅组件，光栅测量机构能够检测纵向释放机构在水平面上沿X轴和Y轴各自的读数。采用此发明提供了随动式测量方案，能对SCARA机器人平面定位精度进行检测与提升。