一种基于电容阵列的射频电源阻抗匹配方法

本发明属于射频电源技术领域，提供了一种基于电容阵列的射频电源阻抗匹配方法，电容阵列包括若干相互并联的电容单元，每个电容单元均连接有射频功率开关管，由射频功率开关管控制电容单元的接入；方法包括：实时监测反射系数Γ；若反射系数Γ超出设定范围，预训练完成的匹配模型基于等离子浓度变化速率和当前t时刻的等离子浓度，预测t+1时刻的等离子浓度和腔体负载阻抗，生成开关管驱动信号作用于射频功率开关管控制通断；将t+1时刻的实际等离子浓度和实际腔体负载阻抗输入匹配模型的输入端进行自适应学习。本发明预测t+1时刻的等离子浓度和腔体负载阻抗，进而提前判断容值的调整，避免射频电源与等离子腔体之间的持续不匹配状态。