一种压电陶瓷致动器非线性动态补偿调整方法

本发明涉及压电陶瓷致动器技术领域，公开了一种压电陶瓷致动器非线性动态补偿调整方法，包括建立模型、参数辨识、前馈补偿、反馈控制、动态调整等步骤，本发明通过该方法可以显著提高压电陶瓷致动器的控制精度和响应速度，并降低由于压电陶瓷的迟滞非线性引起的定位误差和振动，从而提高系统的稳定性和可靠性；本方法还具有简单、易实现的优点，尤其适用于三维表面轮廓测试时需要的高精度控制压电陶瓷致动器使用系统。