一种功率半导体器件老化在线诊断方法

本发明公开了一种功率半导体器件老化在线诊断方法，涉及电力电子领域，包括，集成智能传感器与老化测试电路，建立多物理场耦合仿真模型；基于多物理场耦合仿真模型，评估当前器件的老化状态，得到器件的健康指数；基于多维度数据矩阵，构建异常检测模型，输出异常检测结果；通过异常检测结果，预测半导体器件的失效概率和剩余使用寿命；基于预测半导体器件的失效概率和剩余使用寿命，生成维护建议；本发明根据预测结果生成维护建议，指导用户适时采取预防性维护措施，不仅提升了老化状态评估的准确性，还增强了故障预警的及时性，减少了因突发故障带来的经济损失和技术风险。