超窄线宽垂直外腔面发射激光器

本发明属于激光设备技术领域，具体公开了超窄线宽垂直外腔面发射激光器，包括激光谐振单元和腔内控制单元，激光谐振单元用于产生激光振荡，腔内控制单元用于对基频光进行偏振控制、模式控制、波长调谐和线宽窄化；激光谐振单元包括泵浦光发射系统、增益芯片、折叠输出镜和后端镜，腔内控制单元包括分束镜、偏振元件、模式控制元件、波长调谐元件、线宽窄化元件和输出耦合镜；采用模式控制元件的二次谐波自抑制来控制谐振腔内激光模式实现单频激射，可简化垂直腔面发射激光器谐振腔内模式控制元件的设计和调节难度；利用线宽窄化元件中微腔器件的自注入锁定特性窄化激光器的输出线宽，可起到深度窄化激光线宽的作用，实现超窄线宽输出。