一种微腔干涉仪原理的宽温高精度光学加速度敏感芯片、传感器及其制造方法

一种微腔干涉仪原理的宽温高精度光学加速度敏感芯片、传感器及其制造方法，包括第一基底、第二基底和第三基底，在所述第一基底上加工形成光纤安装座和通光孔，在所述第二基底上加工有梁结构和惯性质量块，所述第一基底、第二基底和第三基底均采用双抛超平硅片，在所述光纤安装座上固定有单模光纤组件，所述单模光纤组件的端面采用精密研磨并与光纤纤芯的轴向垂直，利用所述惯性质量块朝向通光孔的一侧端面形成第一腔镜，所述单模光纤组件的端面形成第二腔镜，第一腔镜和所述第二腔镜构成F‑P干涉腔，第一基底、第二基底和第三基底采用硅‑硅键合工艺实现连接。