摘要
本发明涉及半导体检测领域,公开了一种芯片检测分选设备及方法,机架设置有上下料抓手模组、检测模组、转移模组及编带模组;转移模组包括第一输送线、第二输送线、第三输送线及料盘转移机构;检测模组包括第一检测装置和第二检测装置,第一检测装置用于对芯片的侧面及底面进行检测,第二检测装置用于对芯片的正面进行检测;编带模组包括编带机构,编带机构用于为芯片编带封装;上下料抓手模组包括上料机构和下料机构,上料机构用于在第一输送线和第一检测装置之间转移芯片;下料机构用于在第二输送线、第三输送线及编带机构之间转移芯片;本发明中通过上料机构和下料机构转移芯片,避免了人工移动芯片时芯片的损伤,芯片分拣及检测效率更高。
技术关键词
输送线
检测分选设备
料盘转移机构
编带机构
直线模组
芯片
相机结构
上料机构
托盘
检测分选方法
工位
检测模组
热封组件
龙门架
下料机构
升降电机
正面
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