一种深潜望波导成像方法及成像系统

本发明涉及芯片成像技术领域，公开了一种深潜望波导成像方法及成像系统，包括：利用聚焦判断算法确定历史芯片图像的焦点位置；将焦点位置与预设焦点位置阈值范围进行对比，在焦点位置位于预设焦点位置阈值范围内时，将焦点位置对应的历史芯片图像作为训练集图像；利用训练集图像对离焦量判断模型进行训练得到训练完成的离焦量判断模型；获取目标芯片图像，将目标芯片图像输入离焦量判断模型中得到目标芯片图像的离焦量；将离焦量与预设离焦量范围进行比较，在离焦量位于预设离焦量范围内时，输出目标芯片图像，在离焦量位于预设离焦量范围外时，构建图像修正算法，利用图像修正算法对目标芯片图像进行修正，输出修正后的目标芯片图像。