摘要
本公开的实施例提供了一种集成电路(IC)结构。IC结构包括具有光波导的光中介层;多个芯片堆叠件,设置在所述光中介层上方,所述多个芯片堆叠件中的每个都包括第一光子IC芯片和位于所述第一光子IC晶圆上方的存储芯片;以及分别与所述多个芯片堆叠件相邻设置的多个第一激光源芯片,其中,所述光中介层中的光波导被配置为光学互连结构,以通过所述第一光子IC芯片与所述存储芯片耦合。本公开的实施例还提供了一种制造集成电路(IC)结构的方法。
技术关键词
光子集成电路芯片
芯片堆叠件
存储芯片
集成电路结构
光学互连结构
中介层
光波导
激光源
导电部件
光纤阵列单元
存储器
电耦合
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IC芯片
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