衬底搬运系统

公开了一种衬底搬运系统。该衬底搬运系统包括：衬底搬运机器人，用于在多个衬底站之间转移衬底；以及激光雷达成像系统，其包括位于衬底搬运机器人上的激光雷达图像获取模块，激光雷达成像系统配置成获取衬底和/或衬底站的至少一个3D图像，并且基于至少一个3D图像来确定衬底和/或衬底站的一个或多个属性。