压电MEMS智能扬声器制备方法

本发明具体涉及一种压电MEMS智能扬声器制备方法，包括：根据目标频率范围利用薄膜振动频率的理论公式进行初步计算薄膜振动频率；使用有限元分析软件进行仿真模拟，预测每个振动膜的共振频率以确定各层材料；选择压电材料；选择基底材料；在基底上溅射第一电极材料，刻蚀形成所需的电极图案；沉积压电层材料，确保厚度均匀；在压电层上溅射第二电极材料，刻蚀形成所需的电极图案；测试扬声器的实际表现频率；根据测试结果调整压电层的厚度或形状：还包括采用动态算法调整压电层的厚度或形状；重新沉积压电层并进行调整；直至所有振动膜的共振频率均在目标范围内。