杂散光控制模块及其制备方法及光子集成芯片

本发明提供一种杂散光控制模块及其制备方法及光子集成芯片，通过将朝向杂散光入射方向上的沟槽侧壁设置为齿状侧壁，且齿状侧壁设置为非弧形凸起齿与非弧形凹陷齿结合的非弧形齿结构，因此设置于沟槽中的金属反射层具有沟槽齿状侧壁的非弧形齿结构，该结构可将进入半导体顶层中的杂散光不定向的向多个方向散射出去，且可有效破坏杂散光的空间相干性，提高杂散光的反射效率，避免通过掺杂吸收杂散光引起的杂散光吸收不足以及被吸收容易形成热点的问题，提升PIC的整体性能和稳定性。杂散光控制模块的制备方法通过多掩膜光子学工艺制备，可与传统硅光器件制造工艺兼容，易于制备和实现工业生产，具有良好的市场价值。