一种基于介谱光源的实时束流测量系统及其自校准方法

本发明属于化合物材料分子束外延领域，具体为一种基于介谱光源的实时束流测量系统及其自校准方法，以谱宽在十至数十纳米范围的连续介谱光源作为实时在线束流测量的光源，并具备自校准功能，也即采用单一测量光路，用光谱仪采集得到光源光束与分子束流作用后的特定光谱数据，通过对特定光谱数据中三个及以上数据点的计算，直接得到参比后的相应分子束流的实时吸收强度数据，据此获得相对束流强度；此系统及其自校准方法既适合于对单一种类束流的实时在线测量，也可通过光源光路切换用于多种束流的实时在线测量，还可通过光源光束合成或定制多波长多芯片单光束封装器件进行多种束流的实时在线分别或同时测量，是一种普适的方案。