一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备

本发明公开了一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备，涉及半导体检测技术领域，其技术要点包括底座及固定安装在底座背面的支架，支架上固定安装有位于底座正上方的检测器，底座的顶部设置有调位机构，底座的正面设置有量子点荧光机构，调位机构包括三维调位组件和放置台，三维调位组件包括固定安装在底座顶部的X杆，本发明通过设置三维调位组件和量子点荧光机构，实现了硅晶圆片在三维空间内的自由移动、精准定位及基于量子点荧光增强的缺陷检测，突破了传统设备的局限性，灵活应对不同尺寸和形状的晶圆片，确保全面覆盖和无死角检测，同时显著提高检测的准确性和灵敏度，降低了检测误差和漏检率，为半导体制造业提供了可靠的质量保障。