晶圆检测方法、系统、装置、存储介质、计算机程序产品

本申请公开了一种晶圆检测方法，用以解决现有基于机器视觉的晶圆检测方法，容易出现多个检测框同时对应同一个芯片的问题，进而导致检测结果中存在大量冗余检测框，导致晶圆检测效率较低，且检测精度得不到保证的问题。方法包括：根据检测模型，对采集到的待检测物料对应的待检测晶圆图像进行目标检测，获取检测结果图像；根据非极大值抑制算法对检测结果图像进行处理，得到检测结果图像对应的第一候选框集合；确定第一候选框集合中置信度值最高的第一检测框；根据第一检测框，生成第二候选框集合，并从第一候选框集合中删除第一检测框，得到第三候选框集合；根据第二候选框集合以及第三候选框集合，完成对检测结果图像对应的候选检测框的筛选。