编码多层膜滤波阵列结构、光谱成像芯片及其制备方法

本申请公开了一种编码多层膜滤波阵列结构、光谱成像芯片及其制备方法。该编码多层膜滤波阵列结构包括沿工作平面阵列排布的多个滤波单元，滤波单元包括沿指定方向层叠设置的多个介质层和金属层，相邻两个金属层之间分布有至少一个介质层；不同滤波单元具有不同编码，每一编码与相应滤波单元所含金属层的数量和/或所含金属层在指定方向上的位置相关；并且不同滤波单元所含介质层的数量相同，每一滤波单元内的每一介质层与其余滤波单元内的相应一介质层分布在相同层平面上；该指定方向垂直于工作平面及层平面。该编码多层膜滤波阵列结构具有平坦化的结构特点，易于加工，可以有效提高光谱成像芯片的空间分辨率和光谱分辨率。