一种用于复杂表面的化学镀铜溶液工艺优化方法

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一种用于复杂表面的化学镀铜溶液工艺优化方法
申请号:CN202510139723
申请日期:2025-02-08
公开号:CN120210794A
公开日期:2025-06-27
类型:发明专利
摘要
本申请涉及镀铜工艺技术领域,提供一种用于复杂表面的化学镀铜溶液工艺优化方法。所述方法包括:根据镀铜数据交互子模块,采集目标基材特征数据;输入至化学镀铜溶液工艺决策通道,生成工艺决策;利用多维性能预测算法进行多维镀铜性能预测;接收多维期望镀铜性能约束;判断预测结果是否满足约束;不满足时,生成工艺优化指令;激活工艺优化算法,对工艺决策进行优化。本申请解决了在复杂表面化学镀铜过程中,因无法准确预测和优化不同基材及工艺条件下的镀铜性能,导致镀铜质量不稳定、效率低下的技术问题,实现了精准采集基材的特征数据,并进行多维性能预测,提高化学镀铜工艺的准确性和效率,提升镀铜产品的质量和可靠性的技术效果。
技术关键词
镀铜溶液 决策 基材 粒子 工艺优化方法 数据 算法 子模块 镀铜工艺技术 生成工艺 样本 集成学习器 通道 指令 光亮度 超参数 导电
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