一种基于曲率动态模糊曝光技术提高DMD数字光刻平滑度的方法

本发明涉及DMD器件成像曝光技术领域，特别是涉及一种基于曲率动态模糊曝光技术提高DMD数字光刻平滑度的方法，包括：选定待处理曝光图像；对所述待处理曝光图像进行分割，获取若干子图像；计算所述子图像的斜率，并基于所述斜率设计位移路径；基于所述位移路径计算所述子图像的局部膨胀，并对所述子图像进行预处理；对预处理后的子图像进行曝光，获取完整的曝光图像。本发明可以有效地曝光高保真度的复杂图像。