一种半导体水系统数字化运维方法及其系统

本公开涉及运维系统领域，尤其涉及一种半导体水系统数字化运维方法及其系统，所述方法包括如下步骤：获取半导体水系统的相关数据，并将所述相关数据接入物联网平台；将物联网平台上的相关数据所在位置与建筑信息模型中的位置相结合，并在所述建筑信息模型中数据交互和控制操作；并将所述设备状态监控数据涉及到的设备及管道、产水统计数据涉及到的水路和巡检路线和/对象进行关联，实现设备运行状态、水路流向的可视化和巡检过程的无人化；构建水系统运行预测模型，对半导体水系统的运行情况进行预测，并根据预测结果对半导体水系统中的设备养护、耗材更换、药剂消耗和巡检周期进行规划，进而生成运维工单以实现所述规划。