测量装置、半导体设备及测量管路清洗效率的方法

本申请提供了一种测量装置、半导体设备及测量管路清洗效率的方法，测量装置用于测量半导体设备中管路的清洗效率，测量装置包括支架、载物盘和测试片，支架用于支撑于管路的内壁；载物盘设置于支架；测试片设置于载物盘。本申请通过在半导体设备中设置测量装置，可以对半导体设备管路的清洗效率进行侦测，以此确保半导体表面的洁净度，进而提高半导体芯片的良率和性能。