一种红外双晶格光子晶体面射型激光器的制造方法

本发明属于光电子器件制造技术领域，具体涉及一种红外双晶格光子晶体面射型激光器的制造方法，包括材料生长和器件制作，本发明量子阱发光层采用Al0.3Ga0.7AsSb/In0.3Ga0.7AsSb多量子阱发光层，可以实现量子垒与量子阱应力匹配，对载流子损失较少，辐射复合效率高；使用Ni、Ag金属与p‑GaSb经退火形成良好的电学导通，形成接触电阻比较低，有利于电光转换效率提升；光子晶体结构孔洞直径为160~200nm；x，y间距为等间距排列，排列间距为100~150nm，孔深度为300~500nm；经以上发明设计实现的器件，x，y双晶格结构的器件电光转换效率高，阈值功率密度为可达到1.8~1.91 kW/cm2。本发明通过结合双晶格结构和光子晶体特性，显著提升了激光器的输出效率和频率稳定性。