基于联邦学习的芯片制造过程参数优化方法及系统

本发明提供基于联邦学习的芯片制造过程参数优化方法及系统，涉及芯片技术领域，包括通过采集多工厂工艺参数和良率数据，利用小波变换和双重评价筛选关键参数，构建深度Q网络模型；基于工艺轨迹相似度进行族群划分，采用差分隐私和同态加密保护数据安全，通过注意力机制和知识蒸馏实现族群优化；设置三级时间窗口监测良率，动态调整优化策略。本发明可有效提升芯片制造良率，保护数据隐私，实现工艺参数的智能优化。