半导体晶圆表面缺陷视觉检测方法及系统

本发明公开了半导体晶圆表面缺陷视觉检测方法及系统，包括以下步骤：获取晶圆图像，并通过霍夫直线变换计算偏转角并完成晶圆旋转校正，旋转校正后，查找晶圆中所有轮廓，读取轮廓面积，根据噪声类型选用不同的滤波器去除噪声，降低干扰，保护晶粒轮廓信息，并增强图像，有目的地加强感兴趣区域同时抑制背景区域，提高图像对比度，得到更有利于计算机分析的图像，本发明具有以下优点：本发明通过邻域内像素灰度值的标准差分析该邻域内灰度级分布情况，根据抑制晶粒边缘和增强缺陷边缘的要求，对不同位置的像素进行图像增强，根据EnFcm算法，将聚类数据由灰度值改为灰度级，有效的提高了分割效率。